光谱共焦位移传感器

■ 最小测量盲区               ■ 亚微米测量精度

■ 抗干扰能力强               ■ 轴向/径向出光测量

■ 多层透明测厚               ■ 超光滑镜面测量

超高的重复精度  0.02μm            超高的线性精度  ±0.02% of F.S  

超快的采样速度  最高30kHz          超大的测量角度  ±65°    

适应不同被测物  镜面、透明、半透明、膜层、深孔、内壁、多层玻璃