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参考距离:50mm,测量范围:±2mm,光斑直径:100μm,测量角度:±3°,静态噪声:1nm,线性误差:≤20nm
■ 纳米级测量精度 ■ 薄膜、薄层玻璃测厚
■ 宽范围工作距离 ■ 一体式探头结构
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