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■ 纳米级测量精度 ■ 薄膜、薄层玻璃测厚
■ 宽范围工作距离 ■ 一体式探头结构
超高的重复精度 1nm 超高的线性精度 ±20nm
超大的测厚范围 1~100μm 超快的采样速度 最高10kHz
超大的工作距离 50±2mm
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